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產(chǎn)品名稱: Hamamatsu濱松光子學膜厚測量系統(tǒng)C12562-04
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品展商: 日本Hamamatsu濱松光子學
產(chǎn)品文檔: 無相關文檔
簡單介紹
Optical NanoGauge 膜厚測量系統(tǒng) C12562 是一款緊湊、節(jié)省空間的非接觸式薄膜膜厚測量系統(tǒng)，可根據(jù)需要輕松安裝在設備中。在半導體行業(yè)，因為硅穿孔技術的流行，硅厚度的測量至關重要；在薄膜生產(chǎn)行業(yè)，粘合層薄膜越來越薄，以滿足產(chǎn)品規(guī)格。因此，這些行業(yè)現(xiàn)在需要更高的厚度測量精度，測量范圍從 1 μm 到 300 μm。C12562 允許在 500 nm 至 300 μm 的寬厚度范圍內進行**測量，包括薄膜涂層和薄膜基板厚度以及總厚度。C12562 還提供高達 100 Hz 的快速測量，是高速生產(chǎn)線測量的理想選擇。
Hamamatsu濱松光子學膜厚測量系統(tǒng)C12562-04
的詳細介紹
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型號
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C12562-04
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可測量的薄膜厚度范圍（玻璃）
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500 nm 至 300 μm*1
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測量重現(xiàn)性（玻璃）
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0.02 nm*2 *3
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測量精度（玻璃）
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±0.4%*3 *4
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光源
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鹵素光源
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光斑尺寸
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約 φ1 mm*3
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工作距離
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10 mm*3
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可測量層數(shù)
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*多 10 層
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分析
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FFT 分析、擬合分析、光學常數(shù)分析
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測量時間
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3 ms/point*5
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光纖連接器形狀
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FC
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外部控制功能
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RS-232C，以太網(wǎng)
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電源
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AC100 V 至 AC240 V，50 Hz/60 Hz
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功耗
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約 80 VA
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濱松光子學株式會社總部位于靜岡縣濱松市，是一家主要產(chǎn)品包括光電倍增管、光學半導體器件以及圖像處理和測量設備的制造商。靜岡縣內有七個生產(chǎn)基地，其中包括位于濱松市的總工廠。
1948年成立時名為東海電子研究所，1953年成立濱松電視株式會社，開始生產(chǎn)將光轉換為電信號并檢測電信號的光電管。1983年，公司名稱變更為濱松光子學株式會社，并于1998年3月在東京證券交易所**部上市，至今仍在那里。
公司業(yè)務大致分為電子管業(yè)務、固態(tài)業(yè)務、系統(tǒng)業(yè)務、激光業(yè)務四大類。所有這些公司主要開發(fā)、制造和銷售“發(fā)光”、“捕獲光”和“測量光”的產(chǎn)品。具體產(chǎn)品包括光電二極管等光學傳感器、LED 等光源以及配備 CMOS 和 CCD 的高性能相機。特別是在光傳感器領域，光電倍增管自公司成立以來一直是代表產(chǎn)品，并為獲得諾貝爾物理學獎做出了貢獻，多年來不斷發(fā)展，目前在全球市場占有率高達約90%。此外，光半導體器件、測量設備等種類繁多的產(chǎn)品被廣泛應用于醫(yī)學、工業(yè)、分析、測量、學術界等領域，被世界各地的制造商和研究機構所使用，正在全球擴張，海外市場約占其銷售額的70%。
